三軸導軌均采用上等花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩定性，變形小，剛性好，使整機測量精度長期保持穩定。三軸均采用大功率驅動器、大功率電機及新型雙極帶減速器，使傳動準確、迅速。采用柔性同步齒型帶傳動，使測量機運行無噪聲，整機平衡性好且定位**，使用壽命長。Y軸采用燕尾導軌，有效消除了運動扭擺，保證了運動時的*大剛性和任意位置的測量精度。高精度、高氣膜剛性的氣浮軸承使導軌永無磨損。